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采用了耐藥品、耐油性都很優秀的特氟龍（PFA）
能夠民晶圓片洗凈槽的硫酸等高溫液體的檢測相對應。（-40 ~ +200℃）
實現了0.5mm的高重復精度。
采用了防止液體的結構。

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