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    編者語：在中國MEMS技術實用化相關會議“第二屆微納米技術創新與產業化國際研討會（ICMAN 2008）”上，北京大學微電子學研究院教授張海霞表示，“要建立起能使中國MEMS實用化所需時間縮短3～5年的機制”。

    北京大學微電子學研究院教授張海霞表示，“要建立起能使中國MEMS實用化所需時間縮短3～5年的機制”。這是張海霞在中國MEMS技術實用化相關會議“第二屆微納米技術創新與產業化國際研討會（ICMAN 2008）”上就大學與產業合作談及的。 

　　中國的MEMS開發有兩大特點。一是政府的作用比其他國家大，大學甚至承擔著為產業界開發產品的職能。除產品開發外，甚至連制造工藝的開發都傾向于由大學來完成。張海霞指出之所以能夠縮短中國MEMS實用化所需時間，是因為這種具有中國特色的產官學一體化體制。張海霞表示打算花1～2年時間由研究開發機構完成試制之前的工作，然后用3～5年為量產做準備。 

　　為了實現這一目標，張海霞領導的微電子學研究院MEMS研究所將致力于創辦MEMS風險企業、向企業提供IP、通過與企業合作培養技術人員等。比如，她介紹了MEMS研究所創辦的兩家MEMS風險企業。其中，先通過分拆成立的MEMS廠商名為First MEMS（北京青鳥元芯微系統科技有限責任公司），是在北京中關村科技園區設有基地的MEMS傳感器廠商，擁有自己的制造設備。目前，First MEMS已投產了壓力傳感器、濕度傳感器、氣體傳感器及加速度傳感器。還準備投入使用硅微傳感器。