歐姆龍-鍍膜機控制系統原理及電路故障分析方法
所屬類別：歐姆龍(OMRON)
>> 控制元器件
資料介紹：
摘要高真空鍍膜機是目前應用電子束蒸發獲得真空條件為廣泛的設備。空間用砷化鎵太陽電池和單晶硅太陽電池金屬膜及介質膜蒸鍍主要依靠鍍膜機來完成。其相關組成及各部件包括機械泵、增壓泵、油擴散泵、冷凝泵、分子泵、真空測量系統、膜厚系統、加熱系統、行星架旋轉系統、電子束蒸發系統等。要將所有部分有機融合成一體需要一個穩定完善的控制系統介紹了當前全自動進口真空鍍膜機系統機電控制原理并在信號控制原理的基礎上闡述了電路故障的分析方法。關鍵詞高真空鍍膜機工控機可編程控制器
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