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摘要�じ哒婵斟兡�機(jī)是目前應(yīng)用電子束蒸發(fā)獲得真空條件為廣泛的設(shè)備�？臻g用砷化鎵太陽(yáng)電池和單晶硅太陽(yáng)電池金屬膜及介質(zhì)膜蒸鍍主要依靠鍍膜機(jī)來完成。其相關(guān)組成及各部件包括��機(jī)械泵、增壓泵、油擴(kuò)散泵、冷凝泵、分子泵、真空測(cè)量系統(tǒng)、膜厚系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、行星架旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)、電子束蒸發(fā)系統(tǒng)等。要將所有部分有機(jī)融合成一體�Ｐ枰�一個(gè)穩(wěn)定完善的控制系統(tǒng)�＝榻B了當(dāng)前全自動(dòng)進(jìn)口真空鍍膜機(jī)系統(tǒng)機(jī)電控制原理�２⒃谛盘�(hào)控制原理的基礎(chǔ)上闡述了電路故障的分析方法。關(guān)鍵詞�じ哒婵斟兡�機(jī)�スた貦C(jī)�タ删幊炭刂破�