歐姆龍EE-SPY801/802晶圓片托架落座傳感器說明書下載
所屬類別：歐姆龍(OMRON)
>> 傳感器
資料介紹：
薄片載體的落座檢測
◇依靠與導槽并用，設定落座位置。
◇晶圓片托架的接觸面使用了氟素樹脂。防化學性能優越。
◇在獨特的光學結構，幾乎可穩定檢測所有晶圓片托架。
◇采用強抗外部干擾光的變調光方式。
◇電線使用凈化電線(無粉塵)。
◇依靠與導槽并用，設定落座位置。
◇晶圓片托架的接觸面使用了氟素樹脂。防化學性能優越。
◇在獨特的光學結構，幾乎可穩定檢測所有晶圓片托架。
◇采用強抗外部干擾光的變調光方式。
◇電線使用凈化電線(無粉塵)。
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