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廣州菱控|歐姆龍(OMRON)
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歐姆龍(OMRON) 晶圓片托架落座傳感器 EE-SPY801/802
歐姆龍(OMRON)晶圓片托架落座傳感器EE-SPY801/802
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歐姆龍(OMRON)晶圓片托架落座傳感器EE-SPY801/802
薄片載體的落座檢測
■依靠與導(dǎo)槽并用,設(shè)定落座位置。
■晶圓片托架的接觸面使用了氟素樹脂。防化學(xué)性能優(yōu)越。
■在獨特的光學(xué)結(jié)構(gòu),幾乎可穩(wěn)定檢測所有晶圓片托架。
■采用強抗外部干擾光的變調(diào)光方式。
■電線使用凈化電線(無粉塵)。
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額定值 / 規(guī)格

項目 型號 EE- SPY801/802
檢測距離
(標(biāo)準(zhǔn)檢測物體)
0~5mm (反射率90% 白色紙15×15mm2 )
0~3mm (反射率10% 黑色紙15×15mm2 )
檢測物體 晶圓片拖架(透明體·不透明體)
動作顯示燈 物體檢測時燈亮(橙色)
光源(發(fā)光波長) GaAs紅外發(fā)光二極管(940nm)
電源電壓 DC12~24V±10% 脈動(p-p)5%以下
消耗電流 30mA以下
控制輸出 NPN型:集電極開路輸出、DC5~24V、100mA以下
殘留電壓:0.8V以下(負(fù)載電流100mA時)
殘留電壓:0.4V以下(負(fù)載電流40mA時)
應(yīng)答時間 5ms以下
使用環(huán)境照度 受光面照度 白熾燈、太陽光:3,000lx以下
環(huán)境溫度 動作時:-10~+55℃、 保存時:-25~+65℃ (不結(jié)冰)
環(huán)境濕度 動作時:5~85%RH、 保存時:5~95%RH (不結(jié)露)
振動(耐久) 1~500Hz 復(fù)振幅1.0mm或150m/s2 X、Y、Z各方向 3次、11min/次
沖擊(耐久) 500m/s2 X、Y、 Z各方向 3次
保護結(jié)構(gòu) IEC規(guī)格 IP30
連接方式 導(dǎo)線引出型(標(biāo)準(zhǔn)導(dǎo)線長2m)
質(zhì)量(捆包狀態(tài)) 本體(傳感器):約43g、附件(導(dǎo)槽 ):約9g
材料 外殼 四氟乙烯共聚合物(ETFE)
底板 聚對苯二甲酸丁二醇酯
附件 使用說明書
歐姆龍(OMRON)光電開關(guān) EE-SPW421-A
歐姆龍(OMRON)光電開關(guān) EE-SPX742
歐姆龍(OMRON)光電開關(guān) EE-SPX301
歐姆龍(OMRON)光電開關(guān) EE-SPZ301Y-01
歐姆龍(OMRON)光電開關(guān) EE-SPW321-A
歐姆龍(OMRON)光電開關(guān) EE-SPY415
歐姆龍(OMRON)光電開關(guān) EE-SPZ401W-02
歐姆龍(OMRON)光電開關(guān) EE-SPZ301-A
歐姆龍(OMRON)光電開關(guān) EE-SPX302-W2A 1M
歐姆龍(OMRON)光電開關(guān) EE-SPY302
歐姆龍(OMRON)光電開關(guān) EE-SPY412
歐姆龍(OMRON)光電開關(guān) EE-SPZ402
歐姆龍(OMRON)光電開關(guān) EE-SPZ301W-02
歐姆龍(OMRON)光電開關(guān) EE-SPW421
歐姆龍(OMRON)光電開關(guān) EE-SPX311
歐姆龍(OMRON)光電開關(guān) EE-SPX404-W2A 1M
歐姆龍(OMRON)光電開關(guān) EE-SPX415-P2
歐姆龍(OMRON)光電開關(guān) EE-SPX402-W2A 1M
歐姆龍(OMRON)光電開關(guān) EE-SPWL411
歐姆龍(OMRON)光電開關(guān) EE-SPX306-W2A 2M

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