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廣州菱控|歐姆龍(OMRON)
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歐姆龍(OMRON) 晶圓片托架落座傳感器 EE-SPY801/802
歐姆龍(OMRON)晶圓片托架落座傳感器EE-SPY801/802
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歐姆龍(OMRON)晶圓片托架落座傳感器EE-SPY801/802
薄片載體的落座檢測
■依靠與導槽并用,設定落座位置。
■晶圓片托架的接觸面使用了氟素樹脂。防化學性能優越。
■在獨特的光學結構,幾乎可穩定檢測所有晶圓片托架。
■采用強抗外部干擾光的變調光方式。
■電線使用凈化電線(無粉塵)。
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額定值 / 規格

項目 型號 EE- SPY801/802
檢測距離
(標準檢測物體)
0~5mm (反射率90% 白色紙15×15mm2 )
0~3mm (反射率10% 黑色紙15×15mm2 )
檢測物體 晶圓片拖架(透明體·不透明體)
動作顯示燈 物體檢測時燈亮(橙色)
光源(發光波長) GaAs紅外發光二極管(940nm)
電源電壓 DC12~24V±10% 脈動(p-p)5%以下
消耗電流 30mA以下
控制輸出 NPN型:集電極開路輸出、DC5~24V、100mA以下
殘留電壓:0.8V以下(負載電流100mA時)
殘留電壓:0.4V以下(負載電流40mA時)
應答時間 5ms以下
使用環境照度 受光面照度 白熾燈、太陽光:3,000lx以下
環境溫度 動作時:-10~+55℃、 保存時:-25~+65℃ (不結冰)
環境濕度 動作時:5~85%RH、 保存時:5~95%RH (不結露)
振動(耐久) 1~500Hz 復振幅1.0mm或150m/s2 X、Y、Z各方向 3次、11min/次
沖擊(耐久) 500m/s2 X、Y、 Z各方向 3次
保護結構 IEC規格 IP30
連接方式 導線引出型(標準導線長2m)
質量(捆包狀態) 本體(傳感器):約43g、附件(導槽 ):約9g
材料 外殼 四氟乙烯共聚合物(ETFE)
底板 聚對苯二甲酸丁二醇酯
附件 使用說明書
歐姆龍(OMRON)光電開關 EE-SPX305-W2A 1M
歐姆龍(OMRON)光電開關 EE-SPW421
歐姆龍(OMRON)光電開關 EE-SPZ302
歐姆龍(OMRON)光電開關 EE-SPX304-W2A 1M
歐姆龍(OMRON)光電開關 EE-SPW311
歐姆龍(OMRON)光電開關 EE-SPX742
歐姆龍(OMRON)光電開關 EE-SPW421-A
歐姆龍(OMRON)光電開關 EE-SPZ301W-01
歐姆龍(OMRON)光電開關 EE-SPX843
歐姆龍(OMRON)光電開關 EE-SPX311
歐姆龍(OMRON)光電開關 EE-SPX303
歐姆龍(OMRON)光電開關 EE-SPY802
歐姆龍(OMRON)光電開關 EE-SPZ301W-02
歐姆龍(OMRON)光電開關 EE-SPY415
歐姆龍(OMRON)光電開關 EE-SPX740
歐姆龍(OMRON)光電開關 EE-SPX402-W2A 1M
歐姆龍(OMRON)光電開關 EE-SPW321
歐姆龍(OMRON)光電開關 EE-SPZ301-A
歐姆龍(OMRON)光電開關 EE-SPX405-W2A 1M
歐姆龍(OMRON)光電開關 EE-SPX842

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