歐姆龍(OMRON) 晶圓片托架落座傳感器 EE-SPY801/802
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歐姆龍(OMRON)晶圓片托架落座傳感器EE-SPY801/802
薄片載體的落座檢測
■依靠與導槽并用，設定落座位置。
■晶圓片托架的接觸面使用了氟素樹脂。防化學性能優越。
■在獨特的光學結構，幾乎可穩定檢測所有晶圓片托架。
■采用強抗外部干擾光的變調光方式。
■電線使用凈化電線(無粉塵)。
薄片載體的落座檢測
■依靠與導槽并用，設定落座位置。
■晶圓片托架的接觸面使用了氟素樹脂。防化學性能優越。
■在獨特的光學結構，幾乎可穩定檢測所有晶圓片托架。
■采用強抗外部干擾光的變調光方式。
■電線使用凈化電線(無粉塵)。
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