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歐姆龍(OMRON) 晶圓片托架落座傳感器 EE-SPY801/802
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歐姆龍(OMRON)晶圓片托架落座傳感器EE-SPY801/802
薄片載體的落座檢測(cè)
■依靠與導(dǎo)槽并用，設(shè)定落座位置。
■晶圓片托架的接觸面使用了氟素樹脂。防化學(xué)性能優(yōu)越。
■在獨(dú)特的光學(xué)結(jié)構(gòu)，幾乎可穩(wěn)定檢測(cè)所有晶圓片托架。
■采用強(qiáng)抗外部干擾光的變調(diào)光方式。
■電線使用凈化電線(無(wú)粉塵)。
薄片載體的落座檢測(cè)
■依靠與導(dǎo)槽并用，設(shè)定落座位置。
■晶圓片托架的接觸面使用了氟素樹脂。防化學(xué)性能優(yōu)越。
■在獨(dú)特的光學(xué)結(jié)構(gòu)，幾乎可穩(wěn)定檢測(cè)所有晶圓片托架。
■采用強(qiáng)抗外部干擾光的變調(diào)光方式。
■電線使用凈化電線(無(wú)粉塵)。
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